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,在重庆京东方显现技能有限公司、大族激光科技工业集团股份有限公司、烽烟通讯科技股份有限公司等得到了广泛的工业使用,
一起,由中国科学院重庆绿色智能技能研究院(以下简称“中国科学院重庆研究院”)、重庆邮电大学和姑苏中特微电子科技有限公司等申报的“智能高速挨近式光刻机要害技能及工业化”项目荣获了科技进步奖二等奖。
作为半导体芯片生产流程中最杂乱、最要害的工艺过程,光刻技能的相关研制不只耗时长、本钱高,且全自动光刻技能一向被国外独占。
为此,中国科学院重庆研究院等团队从2015年起展开系列技能攻关,立异大视点光线偏折的多自在曲面联合配光办法,发明晰根据滚珠花键的旋转升降对位设备,研制出的智能高速近紫外挨近式光刻机,光源均匀性达98%,工件台平面定位精度±150nm,套刻精度±0.5μm,全体技能到达国际先进水平。
值得一提的是,中国科学院重庆研究院参加的“高阶非标张量网络核算理论与办法”项目还获得了天然科学奖一等奖;其牵头的“二维范德华异质结可控构筑与高效光电转化器材”项目荣获天然科学奖二等奖。
除此之外,赛力斯轿车有限公司、深蓝轿车科技有限公司等企业的相关效果还上榜了企业技能立异奖。
两江新区科学技能立异局相关担任这个的人说,将继续以科学技能立异为引领,培养壮大新质生产力,推进科学技能立异与工业立异深层次地交融,为两江新区高水平质量的开展供给连绵不断的科技支撑。
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